即時監控水質與處理槽狀態，並直觀顯示液體中微粒子數量的變化，有效提升製程效率與良率。結合多點位整合設計，顯著降低設備成本，成為微汙染管控的最佳解決方案。
MLPC可以持續長時間監控粒子數量，實質掌握各製程階段的粒子變化趨勢。
MLPC可作為機台保養與製程穩定的標準依據，協助建立各階段製程的品質規範，提升生產良率。內建數據自動儲存功能，可完整記錄製程參數並保存一年，便於查核、追溯與優化，實現科學化製程管理。
FlowVIEW多通道液體粒子檢測系統具有9個檢測通道，與一般單通道粒子計數器不同的是，它能夠在同一區域的生產線設備上設置不同位置的監控點。此外，它可以直接整合到現有的生產線機台中，有效降低機台成本。
自動示警功能可在潔淨度標準時主動發出警報，即時回傳有效數據使現場作業人員提前因應處理，更可掌握保養週期，提前更換濾心，預防和降低生產中因微汙染而造成的異常損失。
顯影劑、混酸去光阻液、銅/鋁酸、DI water 檢測效果佳。
LD/PD 成一直線
LD/PD 成角度排列
| 機型 | FlowVIEW DI series / Chem series |
|---|---|
| 量測範圍 | 0.1μm-100μm 了解更多.. |
| 檢測通道數 | 9 |
| 清洗通道數 | 1 |
| 取樣溫度/黏度 | 5-80 °C / 150 cps |
| 粒子濃度限制 | 4,000 P/ml @ 5% coincidence error |
| 通訊傳輸 | Internet / RS485 / Modbus |
| 主機尺寸 | W850 x L550 x H1629 mm (±5mm) |
| 重量 | 105 kg(±5 kg) |
| 選擇配備 | 除氣泡裝置 / 液體回流系統 |
中游 |
下游 |
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原料端品質管控OQC, IPQC
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化學原料 異丙醇(IPA)、脫膜劑、顯影劑、清洗劑(KOH)、去膜劑(stripper)
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化學原料 化鍍藥水、電鍍藥水、去離子水、金屬蝕刻液、剝膜液、脫膜劑、銅酸、鋁酸
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來料的品質管控IQC
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製程上的品質管控IPQC、PQC、OQC
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晶圓製造
蝕刻製程、脫膜製程、微影製程、清洗製程
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PCB
化鍍製程、電鍍製程、蝕刻製程、脫膜製程
封裝
清洗製程
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