生產製程潔淨

在先進半導體製程中，濕製程設備所涉及的化學液體純度與穩定性，已成為影響良率與製程視窗的重要關鍵。相較於傳統僅於進料或成品階段進行檢測，IPQC 強調於製程進行中即時掌握材料狀態，及早發現異常並回饋至製程條件調整。透過即時、連續的監控機制，IPQC 能有效降低製程漂移與不可逆缺陷的發生風險，是先進製程中不可或缺的品質控管環節。

半導體應用品質與良率，一直是台灣半導體與製造業者最重視的課題。尤其在半導體零件的清洗製程中，去離子水的潔淨度對產品良率有著關鍵性的影響。然而，目前的技術仍難以實現對多點位濕製程材料的即時與現場監測。