常見問題

如何知道FlowVIEW Starter Kits與我現有SEM是否相容?

Starter Kits符合99 %的SEM機台廠牌型號,若有疑問可以先提供SEM機台型號與廠牌。(FEI/Thermo Fisher/Keyence/JEOL/Hitachi/ZEISS/Phenom/TESCAN ...)

Starter Kits可在高真空環境中使用嗎?

Starter Kits可承受高達1x10-6 torr的真空壓力下使用。

為何傳統SEM成像需要去除樣品水份,FlowVIEW的技術卻不需要?

SEM屬真空環境,一般樣品送進腔體後會直接被抽乾。FlowVIEW以特殊薄膜系統,將液態樣品封在載台內,可隔絕樣品不被真空幫浦抽乾又可同時讓電子束穿透進行觀測。

FlowVIEW技術的解析度有多高?

實例觀測,最高解析度可達 7 nm。(解析度依據材料元素、solvent及SEM能力而定。)

薄膜是否會干擾成像?

電子束穿透薄膜時會些微發散,但根據實例經驗,最小解析度仍可到7 nm。

電子束會損害樣品嗎?

傳統直接將一般樣品送進SEM腔體,很有可能對樣品造成傷害。使用FlowVIEW的Starter Kits同樣會有電子束造成的效應,但由於有一層薄膜阻隔,實際傷害理論上略低傳統方式。

電子束的電流是否有限制?

需視SEM型號和樣品狀況而定。通常太高會有很多noise而且解析度不好。

Starter Kits會產生電荷累積效應(charging effect)嗎?

比起傳統乾式,Starter Kits電荷累積效應的現象明顯減少。但拍攝某些樣品時還是會產生電荷累積現象,此時以「背向散射電子」成像可大幅減少charging對影像造成的影響。

Starter Kits與光學顯微鏡是否相容?

可相容。FlowVIEW的特殊薄膜對於電子束及光線皆為透明,因此是可以的。但考量光學顯微鏡倍率不高,建議採用Starter Kits大視窗版。

可以利用FlowVIEW的技術執行EDS分析嗎?

可以。FlowVIEW的技術可以執行EDS分析。

文章搜尋