先進製程下的潔淨度挑戰：AI 影像辨識克服傳統 LPC偵測盲點

突破傳統 LPC 的監控盲區

傳統液體微粒子計數器（LPC）受限於光學物理特性，當微粒折射率與液體接近時（如 m ≈ 1），會產生偵測失效。這導致清洗液中關鍵的軟性粒子如：

•界面活性劑微胞 (Micelles)
•聚合物團塊 (Polymer Aggregates)
•凝膠狀物質 (Gel)

在傳統設備中形同「隱形」，導致數據失真並掩蓋潛在的污染風險。

FlowVIEW 為線上製程清潔效率 (IPQC) 提供之關鍵分析能力：

• 精準捕捉隱形瑕疵
  搭載 AI 影像自動辨識，利用AI辨識分類，精準區分 Bubble、Soft Particle（Gel）、Aggregation、Crystal particle 與Solid particle。
• 製程預防性監控
  即時掌握添加劑（如分散劑、螯合劑）的化學行為變化，實現 Online 即時監控與異常預警。

Post CMP Cleaner的潔淨監控

解決方案：流體智動化光學影像檢測解決方案 LEADquid S Series

本案例針對含有分散劑（Dispersant）與界面活性劑（Surfactant）之先進清洗液進行檢測，透過 AI 影像辨識技術，能精準將清洗液中自然生成的軟性物質與氣泡進行獨立定量與分類，以評估添加劑對清洗製程的影響。在此基礎上，我們也能額外監控所有可能引發產品異常的關鍵污染粒子，確保製程端能即時掌握生產的品質波動。透過這套解決方案，能在污染物擴散至晶圓表面前，建立起一道強韌的預警防線。