2022/09/23
半導體電子產業
半導體電子產業
邑流微測 FlowVIEW 採用先端雷射感測技術,搭配客製化多通管路,研發半導體奈米級濕製程「線上多通道粒子檢測系統」。顯影劑、混酸去光阻液、銅 / 鋁酸、DI water 檢測效果佳
製程檢驗影響了整體製程品質,絕對是提升半導體良率的重要關鍵。過去常於成品才進行品質檢驗,但此時已浪費許多原物料資源,以及過程中耗費的人力與時間成本。隨著終端客戶要求日趨嚴格,如何建置濕製程中的品質驗證,避免被客戶highlight?我們一起進來找解方!
過去粒徑分布分析受限於傳統訊號式檢測,當需要檢測濃度高的液體樣品,粒子間訊號的互相干擾導致數據結果與預期中的不同。AI影像式粒徑分布分析設備結合Sizer與Counter兩大功能,成為強而有力的問題對策工具。
AI影像式粒徑分析別於傳統受限於景深與檢測量,利用獨家全景深光學技術加上微流道高速動態檢測模組,達到100%快速擷取的檢測方式。不僅可讓視野內的粒子清楚成像,更突破一般顯微鏡會產生魚眼畸變的缺陷,適用於精確計算粒徑分析以及真圓度的應用。
AOI設備自動光學檢測是目前產業界中十分常見的檢測手法,可用來檢測零組件瑕疵、量測零件長寬等。因此,AOI設備亦是百家爭鳴的特級戰場。儘管AOI設備已普通取代人工檢測,但自動光學檢測仍有其侷限性。且隨著現今相關產品複雜度提高,面對液態材料或新興材料檢測時,傳統AOI設備早已不敷使用。那麼,液態材料怎麼測才能得到最佳的檢測結果?液態檢測設備又為什麼是比傳統AOI設備更好的解法?
AOI設備是什麼?
傳統AOI設備又稱自動光學檢測,是一種使用光學技術和機器視覺系統來檢測電子產品、印刷電路板(PCB)等製造產品之自動化檢測設備。AOI 設備可在製造過程中檢查零件安裝、焊點品質或其他零件的缺陷,包括錯誤元件安裝、錯誤焊接等。主要利用影像技術比對待測物與標準影像是否出現過大差異來判斷待測物是否符合檢測標準。精準度基本上取決於AOI設備對影像之解析度、成像能力以及影像辨析技術。
圖片來源:istock
AOI設備的應用&不足
目前業界AOI設備以固態的樣品作為主要檢測物,透過自動光學檢測比對待測物的影像和標準影像的差異,辨別產品良率與完整性。而被當作比對標的的標準影像,自動光學檢測的細節愈完整,比對的精準性就愈高。然而,受限於平面拍攝、拍攝區域及死角等因素,許多無法量化的影像無法直接由AOI設備辨識差異性,設備篩選出異常影像或參數後,仍需再次透過人力或固定參數進行二次判定,此時便很容易產生判斷錯誤的情況。加上一般自動光學檢測以拍攝樣品表面的影像作為判斷依據,待測物影像也需足夠的穩定度,才能被正確區別,故會拍攝參數亦須一致,包括光源、高度、平坦度、產品反光性等。只要其中有項參數跑掉,就可能造成判讀結果失真。
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液態檢測設備的原理
液態檢測設備應用與AOI設備最大區別,在於液態檢測設備可精準檢測液態樣品或液體材料,兩者的出發點也大不相同。AOI設備自動光學檢測旨在判定待測物良率與完整性,確保產品出貨品質;液態檢測則可判定液態材料的原始狀態。應用在產線端,可監控濕製程中的變化,即時掌握濕製程的穩定性,不需等到產品已完成才進行瑕疵檢測。如應用於材料研發,可透過更直觀的檢測,分析材料的更換效果。簡言之,傳統AOI設備用於出貨前控制產品品質,扮演成品篩選者的角色。而液態檢測設備則於材料研發及製程中就能扮演糾察隊與研發時的透視眼,作到更即時的成本管控與良率掌握。
液態檢測設備的應用&優勢
而邑流微測的液態檢測設備,更是以獨家奈米薄膜技術,別於自動化光學檢測無法看見奈米級影像的侷限,同時突破過去受限SEM電子顯微鏡真空環境的瓶頸,於真空中創造大氣腔體,保存液態材料的原始樣貌,不僅可提供小至7nm的原始影像,更提供業界最高解析度。配合半導體、光電面板、石化工業等不同研發及檢測需求,提供SEM電子顯微鏡觀測晶片系統、高階液體影像分析、電化學材料反應以及液體粒子線上檢測等解決方案。
傳統AOI設備
液態檢測設備
功能
優
不足
封裝製程實際應用案例
以半導體產業為例,台灣知名的封裝大廠,在其清洗製程中,原本僅能記錄製程液體裡是否有異物或異常,但無法系統性地比對良率與液體微汙染間的關聯性。導入線上液體檢測設備以後,不僅滿足即時性多點位的槽體量測,確保相關人員隨時掌握液體狀況,如有異常立即示警處理。更重要的是,透過線上數據化監控,可協助產線端更有效增加零件清洗製程的效率、確切水質與處理槽系統的狀態。透過24小時液體數據監控,比對液體微汙染與各項數據之間的連動性,做到濾心過濾狀況最佳化並減少無效稼動,協助客戶提升良率且降低成本。
【更多應用,請與我們聯繫:03-6589006#122】
線上液體檢測設備適用於濕製程的每個區段,在製程源頭就開始導入把關,可以節省追溯汙染源的時間、提供即時性預判資訊,同時取代人力,避免人工疏漏,以智慧化系統提供更客觀精準之數據,達成「降低材料耗損」&「避免訂單流失」。
客戶應用:
半導體封裝大廠-微汙染即時監測,預算內提升品質、良率